Полное описание

574272
Удовиченко, С. Ю. Пучково-плазменные технологии для создания материалов и устройств микро- и наноэлектроники : учебное пособие / С. Ю. Удовиченко ; Тюменский государственный университет. - Тюмень : Тюменский государственный университет, 2016. - 228 с. : ил. - URL: https://biblioclub.ru/index.php?page=book&id=574272 (дата обращения: 25.04.2024) . - Режим доступа: Электронно-библиотечная система "Университетска библиотека ONLINE", требуется авторизация. - Библиогр. в кн. - ISBN 978-5-400-01349-2 : Б. ц.

	УДК
	533.924(075.8)

	ББК
	30.600.3я73
	32.844.2я73

Кл.слова (ненормированные): Учебник для высшей школы
Аннотация: Учебное пособие дает студентам представление о современном состоянии исследований и разработок в области создания оборудования для пучково-плазменных технологий и о возможностях применения этих технологий в микро- и наноэлектронике. Особое внимание уделено современному высокотехнологичному оборудованию – НТК «НаноФаб-100», приобретенному Тюменским государственным университетом в рамках реализации ФЦП «Развитие инфраструктуры наноиндустрии в Российской Федерации на 2008-2011 гг.». Пособие имеет целью активизацию у студентов практических навыков по применению пучково-плазменных технологий в микро- и наноэлектронике в соответствии с требованиями ФГОС ВО к содержанию курсов «Физические основы микро- и наносистемной техники», «Физико-химические основы процессов микро- и нанотехнологий», «Вакуумная техника и технологии», «Методы анализа и контроля наноструктурированных материалов и систем». Предназначено для студентов направления 28.03.01 «Нанотехнологии и микросистемная техника».
https://biblioclub.ru/index.php?page=book&id=574272

Просмотр издания Электронно-библиотечная система "Университетска библиотека ONLINE", требуется авторизация