Полное описание

Лютецкая, И. Г. Микропрофилирование композиции "SiC-AIN" методом реактивного ионно-плазменного травления : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.27.06 / И. Г. Лютецкая. - СПб, 1999. - 16 с. : ил. - Текст : непосредственный.
Библиогр.:с. 16 (7 назв.)

ГРНТИ	УДК
47.33	621.315.592.9(043)

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): АР99-6291)

Шифр в сводном ЭК: 54de1576a4d59db8e589833a2fe60458

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽