Полное описание

Сергиев, В. Г. Технология микроэлектронных устройств : учеб.пособие / В. Г. Сергиев, Н. С. Колмакова, Р. В. Смыслова. - Челябинск : Изд-во ЧГТУ, 1996. - 93 с. : ил. - 100 экз. - Текст : непосредственный.
В надзаг.:Челяб.гос.техн.ун-т,Каф."Технология приборостроения".Библиогр.:с.61(10 назв.)

ГРНТИ	УДК
47.13.11	621.3.049.76.002

Рубрики:
Микроэлектронные приборы -- Производство

Кл.слова (ненормированные): ПРОИЗВОДСТВО
Доп. точки доступа:
Колмакова, Н.С.
Смыслова, Р.В.

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д8-96/35182)

Шифр в сводном ЭК: 54dbe762bab0b9eb7bea224a5be9b4f3

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽