Полное описание

Пискунова, М. Г. Влияние операции изготовления полупроводниковых приборов на свойства поверхности арсенида галлия : специальность 05.27.06 "Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук / М. Г. Пискунова. - М., 1992. - 28 с. - Текст : непосредственный.
В надзаг.: Моск.ин-т электрон.техники. Библиогр.: с. 26-28(15назв.).

ГРНТИ	УДК
47.33	621.382.029.6(043)

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): АР92-010279)

Шифр в сводном ЭК: 54827f5e2c307b73b1be4457dcb1ed79

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽