• ВХОД

    •  

    Полное описание

    539.23-407959
     Xu, Y. Chemical vapour deposition : an integrated engineering design for advanced materials / Y. Xu, X. Yan. - Electronic text data. - London : Springer, 2010. - (Engineering materials and processes, ISSN 1619-0181). - URL: http://dx.doi.org/10.1007/978-1-84882-894-0. - ISBN 978-1-84882-894-0.
    ГРНТИ УДК
    29.19.16539.23

    Кл.слова (ненормированные): химическое осаждение из газовой фазы -- тонкие пленки -- вакуумные методы
    Доп. точки доступа:
    Yan, X.
    SpringerLink (Online service)
    Экз-ры полностью 539.23-407959
    http://dx.doi.org/10.1007/978-1-84882-894-0



    Просмотр издания