• ВХОД

    •  

    Полное описание

    539.2:539.16/B39-583479
     Behrisch, R. Sputtering by particle bombardment / R. Behrisch, W. Eckstein. - Electronic text data. - Berlin ; Heidelberg : Springer , 2007. - (Topics in applied physics, ISSN 0303-4216 ; 110). - URL: http://dx.doi.org/10.1007/978-3-540-44502-9. - ISBN 978-3-540-44502-9.
    ГРНТИ УДК
    29.19.21539.2:539.16

    Кл.слова (ненормированные): распыление -- бомбардировка частицами
    Доп. точки доступа:
    Eckstein, W.
    SpringerLink (Online service)
    Экз-ры полностью 539.2:539.16/B39-583479
    http://dx.doi.org/10.1007/978-3-540-44502-9



    Просмотр издания