Полное описание

Engelhard, M. Messung und Modellierung absoluter Radikaldichten in einem ECR-Methanplasma : Diss. / M.Engelhard. - M@:unchen : [s. n.], 1993. - 123 S. : Ill. - (Berichte / Inst.fur Plasmaphysik ; IPP 4/262). - Текст : непосредственный.
Рез.англ.Библиогр.:с.114-123

ГРНТИ	УДК
29.19	539.23(043)

Рубрики:
Пленки -- Производство

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): R/8035/IPP 4/262)

Шифр в сводном ЭК: 52489d7a4d3b75d76f63d0696b8c6126

Заказать издание
Заказ фрагмента документа