Полное описание

Cui, Z. Micro-Nanofabrication. Technologies and applications / Z. Cui. - Beijing : Higher ed. press, 2005. - 304 p. : ill. - Библиогр.: с. 297-299. Указ.: с. 301-304. - ISBN 7-04-017663-7. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
47.13.11	621.3.049.76.002

Рубрики:
Микроэлектронные приборы -- Производство

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): J2/27458)

Шифр в сводном ЭК: 51d3f2b97dbb4bc7d9a5515725ccdfc6

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽