• ВХОД

    •  

    Полное описание

    Atomic Layer Deposition for Semiconductors / Ed. C. S. Hwang ; ed. C. S. Hwang. - New York, NY [etc.] : Springer sci. + Business Media, 2014. - on-line. - URL: https://link.springer.com/book/10.1007/978-1-4614-8054-9. - Загл. с экрана. - ISBN 978-1-4614-8054-9. - Текст : электронный.

    ГРНТИ УДК
    29.19.31537.311.322:539.23

    Кл.слова (ненормированные): ОСАЖДЕНИЕ -- ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПЛЕНКИ
    Доп. точки доступа:
    Hwang, C.S.\ed.\

    https://link.springer.com/book/10.1007/978-1-4614-8054-9


    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): ???-859860)

    Шифр в сводном ЭК: 4ea5c8dc64bb2d2f4c4a8ce35963ea44



    Заказ фрагмента документа

    Просмотр издания