Полное описание
> Дорфман, В. Ф. Газофазная микрометаллургия полупроводников / В. Ф. Дорфман. - М. : Металлургия, 1974. - 190 с. : ил. - Библиогр.: с. 179-189 (300 назв.). - 2100 экз. - Текст : непосредственный.
ГРНТИ | УДК | |
47.09.29 | 621.315.592-047.84 |
Рубрики:
Полупроводники -- Производство
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д4/24755)>
Шифр в сводном ЭК: 4d9fe5edc69957f459628f541d1eec18
Заказ фрагмента документа ₽
Просмотр издания
или
Просмотр издания
или
Просмотр издания
или
Просмотр издания
или
Просмотр издания
или
Просмотр издания
или
Просмотр издания
или
Просмотр издания
или
Просмотр издания