Полное описание

Friedl, A. Aufbau eines in-situ-IR-Spektralellipsometers zur Charakterisierung plasmadeponierter C:H-Schichten : Diss. / A.Friedl. - M@:unchen : [s. n.], 1994. - 91 S. : Ill. - (Berichte / Inst.fur Plasmaphysik ; IPP 4/267). - Текст : непосредственный.
Парал.загл.англ.Рез.англ.Библиогр.:с.88-91

ГРНТИ	УДК
59.14	681.785.35(043)
31.05.35	546.26'11.03:539.216.2(043)

Рубрики:
Эллипсометры
Углеродистые пленки -- Методы исследования

Кл.слова (ненормированные): УГЛЕРОДИСТАЯ ПЛЕНКА -- ЭЛЛИПСОМЕТР
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): R/8035/IPP 4/267)

Шифр в сводном ЭК: 4d81911baacbccf7fc1cf0d6d499e003

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽