Полное описание

Гордеев, Д. Д. Технология вертикально-интегрированных полупроводниковых структур для создания СБИС : учеб. пособие / Д. Д. Гордеев, В. Н. Дягилев, Ю. А. Парменов. - М. : МИЭТ, 1989. - 67 с. : ил. - 300 экз. - Текст : непосредственный.
Библиогр.: с. 64-66 (38 назв.)

ГРНТИ	УДК
47.13.11	621.3.049.771.14.002
47.33.31

Рубрики:
Интегральные схемы большие -- Производство

Кл.слова (ненормированные): БОЛЬШАЯ ИНТЕГРАЛЬНАЯ СХЕМА -- ПРОИЗВОДСТВО
Доп. точки доступа:
Дягилев, В.Н.
Парменов, Ю.А.

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д7-89/80835)

Шифр в сводном ЭК: 4d7d34ed3d397563f5e51254e11a36b8

Заказать издание
Заказ фрагмента документа