Полное описание

Коломийцев, А. С. Разработка технологических основ субмикронного профилирования поверхности подложек методом фокусированных ионных пучков для создания микро- и наноструктур : автореф. дис. ... канд. техн. наук: 05.27.01 / А. С. Коломийцев. - 2011. - 23 с. : ил. - Библиогр.: с. 19-23 (40 назв.). - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
47.13.33	621.3.049.771.14-047.84(043)

Кл.слова (ненормированные): БОЛЬШИЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ -- МИКРОМИНИАТЮРИЗАЦИЯ -- МИКРОЭЛЕКТРОНИКА -- НАНОСИСТЕМНАЯ ТЕХНИКА -- НАНОЭЛЕКТРОНИКА -- ПОДЛОЖКИ -- СУБМИКРОННОЕ ПРОФИЛИРОВАНИЕ -- ФОКУСИРОВАННЫЕ ИОННЫЕ ПУЧКИ -- ЭЛЕМЕНТНАЯ БАЗА
Аннотация: Разработка и исследование технологических основ субмикронного профилирования поверхности подложек методом фокусированных ионных пучков для создания перспективной элементной базы наноэлектроники, микро- и наносистем.
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар11-10614)

Шифр в сводном ЭК: 4a4df7e748e81c7a8f01c544643d061f

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽