Полное описание

Ионная полировка поверхности поликристалла ниобата лития / В. М. Гармаш, Г. Д. Кузнецов, А. С. Курочка, А. А. Сергиенко. - Текст : непосредственный // Микро- и нанотехнологии в электронике. - Нальчик : Каб.-Балк. гос. ун-т, 2009. - С. 55-57.
ГРНТИ 47.09.29

Аннотация: Установление возможности использования дополнительной ионной полировки поверхности монокристаллических подложек ниобата лития для уменьшения наношероховатости и получения более структурно-совершенных эпитаксильных слоев.
Доп. точки доступа:
Гармаш, В.М.
Кузнецов, Г.Д.
Курочка, А.С.
Сергиенко, А.А.


Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): -631832-064893)

Шифр в сводном ЭК: 49f1042960e073e7b8fd1b12d6a74e50

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽