Полное описание

Расчет тормозного излучения в электронной литографии, его влияние на работу МОП-транзисторов и оценка вклада тормозного излучения в поглощенную энергию в резисте / М.В.Силаков,Г.А.Бабушкин,К.А.Валиев и др. - М. : [б. и.], 2003. - 40 с. : ил. - (Препринт / Физико-технологический ин-т (Москва) ; 25(2003)). - 50 экз. - Текст : непосредственный.
Библиогр.: с. 37-40(34 назв.)

ГРНТИ	УДК
47.13.33	621.3.049.77-047.84:776(04)
	621.382.323(04)

Рубрики:
Рентгенолитография
МОП-транзисторы

Кл.слова (ненормированные): МОП-ТРАНЗИСТОР -- РЕНТГЕНОЛИТОГРАФИЯ
Доп. точки доступа:
Силаков, М.В.
Бабушкин, Г.А.
Валиев, К.А.
Махвиладзе, Т.М.

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): М/57213/25(2003))

Шифр в сводном ЭК: 48f073c978bd06c50d485918aa0cef51

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽