Полное описание

47711
Геллер, В. М. Плазменные высокочастотные технологии для электронного приборостроения : монография / Геллер В. М. - Новосибирск : Новосибирский государственный технический университет, 2011. - 298 с. - URL: https://www.iprbookshop.ru/47711.html (дата обращения: 11.04.2023) . - Режим доступа: ЭБС IPR SMART. - ISBN 978-5-7782-1559-7 : Б. ц.

Книга находится в Премиум-версии IPR SMART.

	УДК
	62

	ББК
	32.85

Кл.слова (ненормированные): высокочастотные технологии -- плазма -- электронное приборостроение
Аннотация: Монография посвящена решению актуальных проблем создания аппаратурно-технологических и аппаратурно-физических комплексов применительно к задачам электронного приборостроения, оптимизации аппаратурного обеспечения плазменных технологических процессов в современном вакуумном приборостроении. Возбуждение химически активных сред рассматривается с учетом энерго-и массообмена (неравновесная плазма). Предложены методы использования высокочастотных полей с особыми частотно-спектральными свойствами для создания однородных и пространственно развитых плазменных объемов. Большое внимание уделено созданию современных высокоэффективных генераторов низкотемпературной плазмы - плазмотронов: Е-типа и Н-типа, гибридных генераторов, а также многоканальных пространственно распределенных генераторов, позволяющих реализовать различные технологические операции. Особое внимание уделяется природоохранным аспектам использования техногенных устройств, какими являются высокочастотные и сверхвысокочастотные плазмотроны. Рассмотрены вопросы элементно-аппаратурного обеспечения электротехнологических процессов с использованием как полупроводниковых активных элементов, так и мощных вакуумных приборов высокочастотного диапазона. Книга может представлять интерес для широкого круга технологов и конструкторов, работающих в области электронного приборостроения.
Доп. точки доступа:
Хрусталев, В. А.

Перейти к просмотру издания
Обложка книги

Просмотр издания ЭБС IPR SMART