Полное описание

Зацепин, Д. А. Ионная модификация функциональных материалов : учеб. пособие / Д. А. Зацепин, И. А. Вайнштейн, С. О. Чолах. - Екатеринбург : Изд-во Урал. ун-та, 2014. - 104 с. : ил. - Библиогр.: с. 92-95. - 50 экз. - ISBN 978-5-321-02359-4. - Текст : непосредственный.
В надзаг.: Урал. федер. ун-т им. первого Президента России Б. Н. Ельцина,Физ.-технол. ин-т

ГРНТИ	УДК
47.13.33	621.315.592:669.046.516

Рубрики:
Полупроводники -- Ионное внедрение

Аннотация: Полупроводниковые материалы с пониженной размерностью. Особенности ионной имплантации полупроводниковых материалов. Рентгеновская спектроскопия в исследовании низкоразмерных материалов.
Доп. точки доступа:
Вайнштейн, И.А.
Чолах, С.О.

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д10-14/11519)

Шифр в сводном ЭК: 46c14ec8448f448f5c9e9dc4f628457d

Заказать издание
Заказ фрагмента документа