Полное описание

Spectroscopic characterization techniques for semiconductor technology III : proc.of the conf.,14-15 Mar.1988,Newport Bearch(Ca) / Ed. O. J. Glembocki. - Bellingham, Wa : SPIE , 1988. - VIII,234 p. p. : ill. - (Proceedings / Soc.of photo-optical instrumentation engineers ; vol.946). - ISBN 0-89252-981-4. - Текст : непосредственный.
Библиогр.в конце гл.Указ.:с.233-234

ГРНТИ	УДК
29.19.31	537.311.322:535(063)
	621.315.592.002(063)

Рубрики:
Полупроводники -- Спектроскопия -- Съезды и конференции
Полупроводники -- Производство -- Съезды и конференции

Кл.слова (ненормированные): ПОЛУПРОВОДНИК
Доп. точки доступа:
Glembocki, O.J.\ed.\

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): R/7309/946)

Шифр в сводном ЭК: 46935c8ebb3887627da8be917ab010ae

Заказать издание
Заказ фрагмента документа