Полное описание

Clecwierz, W. Wplych impedancji generatora i obwodow posrednich na impedancje plazmy w zastosowaniu do napylania magnetronowego cienkich warstw w polu wielkiej czestotliwosci / W.Clecwierz,R.Plowiec. - Warszawa : [s. n.], 1994. - 18 s. : il. - (Prace IPPT / Inst.podstawowych problemow techn., ISSN 0208-5658 ; n8/1994). - Текст : непосредственный.
Библиогр.:с.18

ГРНТИ	УДК
47.55.29	681.89-047.84

Рубрики:
Преобразователи электроакустические -- Производство

Доп. точки доступа:
Plowiec, R.

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Q/2991/8/1994)

Шифр в сводном ЭК: 464292fe7e63212082068d53270f8c6c

Заказать издание
Заказ фрагмента документа