Полное описание

Кононов, В. Ю. Разработка и исследование технических средств систем автоматического управления температурой подложек при производстве ИМС : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.13.07 / В. Ю. Кононов. - М., 1993. - 27 с. : ил. - Текст : непосредственный.
В надзаг.: Моск.гос.ин-т электронной техники(техн.ун-т). Библиогр.: с.26-27(12 назв.)

ГРНТИ	УДК
47.33.31	621.3.049.77-047.84(043)

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): АР93-04208)

Шифр в сводном ЭК: 454ceb2fc32370364aaa24a5a7f73f48

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽