Полное описание

Sputtering data / W.Eckstein,C.Garcia-Rosales,J.Roth,W.Ottenberger. - Garching ; M@:unchen : [s. n.], 1993. - 342 p. : ill. - (Berichte / Inst.fur Plasmaphysik ; IPP 9/82). - Текст : непосредственный.
Библиогр.в конце книги

ГРНТИ	УДК
29.19.16	539.23

Рубрики:
Пленки -- Производство

Кл.слова (ненормированные): ПЛЕНКА
Доп. точки доступа:
Eckstein, W.
Garcia-Rosales, C.
Roth, J.
Ottenberger, W.

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): R/8035/IPP 9/82)

Шифр в сводном ЭК: 448834ef3409a7d491892445ef0f59d1

Заказать издание
Заказ фрагмента документа