Полное описание

Самойликов, В. К. Оптимизация технологического оборудования и процесса газофазной эпитаксии кремния производства СБИС : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн.наук:05.27.07;05.27.01 / В. К. Самойликов. - М., 1996. - 49 с. - Текст : непосредственный.
Библиогр.:с. 33-39

ГРНТИ	УДК
47.33.31	621.3.049.771.14.002(043)

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): АР96-0150)

Шифр в сводном ЭК: 43667cdaed6da2fff9dc6efd28892141

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽