Полное описание

Радаев, А. А. Разработка статистического метода контроля дефектности рабочих пластин на основе моделирования выхода годных и его применение при анализе и прогнозировании производства изделий микроэлектроники : специальность 05.27.01 "Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и нано-электроника, приборы на квантовых эффектах" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук / А. А. Радаев. - М., 1994. - 20 с. - Текст : непосредственный.
В надзаг.: Моск.энерг.ин-т (Техн.ун-т). Библиогр.: с.19-20 (8 назв.)

ГРНТИ	УДК
47.13.11	621.3.049.76.002(043)

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): АР95-2350)

Шифр в сводном ЭК: 41f3e3bbdf0a833dc20cabe1653b040b

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽