Полное описание

Khler, U. Plasmaloses und laserinduziertes Atzen von Silicium mit den Halogenen Fluor,Chlor und Brom / U.K@:hler,A.Guber,W.Bier. - Karlsruhe : [s. n.], 1995. - 52 S. : Ill. - (Wissenschaftliche Berichte / FZKA ; 5574). - Текст : непосредственный.
Рез.англ.,нем.Библиогр.:с.50-52

ГРНТИ	УДК
47.09.29	621.315.592.002:621.79

Рубрики:
Кремний -- Травление

Кл.слова (ненормированные): КРЕМНИЙ
Доп. точки доступа:
Guber, A.
Bier, W.

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): R/17669/5574)

Шифр в сводном ЭК: 40495a8a879c34800a0caf5a0cfd5a99

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽