Полное описание

Физико-химические и химико-технологические основы субмикронной технологии : учеб. пособие / М. В. Бестаев [и др.]. - Владикавказ : Изд-во Сев.-Осет. гос ун-та им. К. Л. Хетагурова, 2009 (Владикавказ). - 171 с. : ил. - Библиогр.: с. 168-170 (38 назв.). - 100 экз. - ISBN 978-5-8336-0588-2. - Текст : непосредственный.
В надзаг.: Северо-Осетин. гос ун-т им. К. Л. Хетагурова

ГРНТИ	УДК
47.13.11	621.3.049.76-047.84

Рубрики:
Микроэлектронные приборы -- Производство

Доп. точки доступа:
Бестаев, М.В.
Жабрев, В.А.
Марголин, В.И.
Арутюнянц, А.А.

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д9-09/68172)

Шифр в сводном ЭК: 40449bf66a77a4b9a47a58da0b1926d5

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽