Полное описание

Болесов, И. А. Исследования и разработка технологии изготовления PIN-фотодиодов на основе кремния с применением ионной имплантации : автореф. дис. ... канд. техн. наук: 05.27.06 / И. А. Болесов. - М., 2004. - 22 с. - 100 экз. - Текст : непосредственный.
Библиогр.: с. 22

ГРНТИ	УДК
47.33.33	621.383.52.002(043)

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар04-6307)

Шифр в сводном ЭК: 3f629892015a366a7c69dc6644f1a182

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽