Полное описание

Технология материалов микро- и наноэлектроники / Л. В. Кожитов [и др.]. - М. : МИСИС, 2007 (М.). - 543 с. : ил. - (Металлургия и материаловедение XXI века). - Библиогр. в конце глав. - 1000 экз. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
47.09	621.3.049.76-03
	621.384-022.532-03

Рубрики:
Микроэлектронные приборы -- Материалы
Наноэлектронные устройства -- Материалы

Доп. точки доступа:
Кожитов, Л.В.
Косушкин, В.Г.
Карпухин, В.В.
Пархоменко, Ю.Н.

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ж2-07/40549)

Шифр в сводном ЭК: 3ef617623a9e22b5eb7028fa03006743

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽