Полное описание

Алгоритмическое обеспечение подсистемы оптимизации технологического процесса производства изделий интегральной электроники : монография / И. Я. Львович [и др.] ; Воронеж. ин-т высок. технологий [и др.]. - Воронеж : Науч. кн., 2016. - 155 с. : ил. - Авт. указ. на обороте тит. л. - Библиогр.: с. 142-151 (127 назв.). - 1000 экз. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
47.13.11	621.3.049.77-047.84

Рубрики:
Интегральные схемы -- Производство -- Автоматизация

Доп. точки доступа:
Львович, И.Я.
Львович, Я.Е.
Преображенский, А.П.
Салеев, Д.В.
Чопоров, О.Н.
Воронежский ин-т высоких технологий

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д10-16/35604)

Шифр в сводном ЭК: 3c39591b585ca24688bc77e3e0753f17

Заказать издание
Заказ фрагмента документа