Полное описание

Каратунов, Ю. В. Моделирование и оптимизация параметров технологических процессов химического осаждения тонких пленок из газовой фазы в производстве приборов электронной техники : автореф. дис. ... канд. техн. наук: 05.27.06 / Ю. В. Каратунов. - М., 2003. - 27 с. : ил. - Текст : непосредственный.
Библиогр.: с. 27 (8 назв.)

ГРНТИ	УДК
47.13.33	621.3.049.771.14.002(043)

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар04-2335)

Шифр в сводном ЭК: 39c3aef2ac633d4345ca10ed0dcbab6f

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽