Полное описание

Формирование слоев пористого кремния и германия с металлическими наночастицами / Степанов А. Л., Нуждин В. И., Рогов А. М., Воробьев В. В. - Казань : ФИЦПРЕСС ; Казань : Изд-во ФИЦ КазНЦ РАН, 2019. - 186 с. : ил. - Библиогр. в конце гл. - 300 экз. - ISBN 978-5-94469-044-9. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
47.13.07	621.315.592.9-022.532-047.8
	621.383-022.532-047.84

Рубрики:
Наноструктурные материалы полупроводниковые
Нанооптоэлектроника -- Материалы

Аннотация: Монография посвящена научным фундаментальным и технологическим проблемам субмикро- и нанофизики, связанным с разработкой новых функциональных материалов из тонких пористых полупроводниковых слоев с включениями металлических наночастиц, а также установлению закономерностей целенаправленного изменения физико-химических свойств таких сред при их формировании. Произведено исследование наноструктурированных материалов, получаемых по новой методике формирования слоев пористых полупроводников с металлическими наночастицами, базирующееся на оригинальной технологии низкоэнергетической высокодозовой имплантации ионами металла поверхности аморфного и монокристаллического Si и Ge. Монография представляет интерес для специалистов, работающих в области физики наноматериалов.
Доп. точки доступа:
Степанов, А.Л.
Нуждин, В.И.
Рогов, А.М.
Воробьев, В.В.

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ж2-19/68247)

Шифр в сводном ЭК: 376d1c61230168b9bf73f344787bf5fc

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽