Полное описание

Конников, С. Г. Количественная растровая электронная микроскопия полупроводников : учеб.пособие / С.Г.Конников. - Спб. : Изд-во СПбГТУ, 1999. - 57 с. : ил. - 100 экз. - Текст : непосредственный.
В надзаг.:С.-Петербург. гос. техн. ун-т. Библиогр.: с.54-55

ГРНТИ	УДК
29.19.31	537.311.322:620.186

Рубрики:
Полупроводники -- Методы исследования

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д8-99/57326)

Шифр в сводном ЭК: 36b4d6834b0f50e552fd7d831a2bfd88

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽