Полное описание

Гайдуков, Г. Н. Исследование газа взаимодействующих частиц на поверхности твердого тела термодинамическим методом и методом компьютерного моделирования / Г. Н. Гайдуков, Е. А. Кожевников, Ю. В. Копаев. - М. : [б. и.], 1996. - 27 с. : ил. - (Препринт / Физический ин-т им.П.Н.Лебедева(Москва) ; 58(1996)). - 100 экз. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
29.19.31	537.311.322:539.23(04)

Рубрики:
Полупроводниковые пленки -- Производство

Доп. точки доступа:
Кожевников, Е.А.
Копаев, Ю.В.

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): М/9354/58(1996))

Шифр в сводном ЭК: 368eb4e9b64a793868532f39677f8c95

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽