Полное описание

Физико-химические основы процессов микро- и нанотехнологий : учеб.-метод пособие / О. И. Рабинович [и др.] ; Нац. исслед. технол. ун-т "МИСиС", Каф. технологии материалов электроники. - М. : МИСиС, 2015. - 88 с. : ил. - Авт. указ. на обороте тит. л. - Библиогр.: с. 88. - 60 экз. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
47.33.37	621.3.049.76-047.84
	621.384-022.532-047.84

Рубрики:
Микроэлектронные приборы -- Производство
Наноэлектронные устройства -- Производство

Доп. точки доступа:
Рабинович, О.И.
Крутогин, Д.Г.
Подгорная, С.В.
Маренкин, С.Ф.
Национальный исследовательский технологический ун-т "МИСиС" (Москва). Кафедра технологии материалов электроники

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д10-15/29528)

Шифр в сводном ЭК: 328131c6f82cff41e6d7ecc6ea4a1968

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽