Полное описание

Карпенко, Г. Д. Современные методы генерации потока осаждаемого вещества при нанесении тонкопленочных покрытий в вакууме / Г.Д.Карпенко,В.Л.Рубинштейн. - Минск : [б. и.], 1990. - 38 c. : ил. - (Серия 55.22.19, Металлические покрытия : обзорная информация / БелНИИНТИ Госплана БССР). - 697 экз. - Текст : непосредственный.
Библиогр.: с. 36-37 (12 назв.).

ГРНТИ	УДК
29.19.16	539.23

Рубрики:
Пленки -- Производство

Кл.слова (ненормированные): ПЛЕНКА -- ПРОИЗВОДСТВО
Доп. точки доступа:
Рубинштейн, В.Л.

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д7-90/69321)

Шифр в сводном ЭК: 324513bf40779eb2aadc696708420413

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽