• ВХОД

    •  

    Полное описание

    Разработка и моделирование МЭМС-устройств : учебное пособие / А. С. Шалимов, Е. С. Кочурина, В. В. Калугин, С. П. Тимошенков ; Министерство науки и высшего образования Российской Федерации, Национальный исследовательский университет "МИЭТ". - Москва : МИЭТ, 2019. - 144 с. : ил. - Библиогр.: с. 142 (7 назв.). - 100 экз. - ISBN 978-5-7256-0919-6. - Текст : непосредственный.

    ГРНТИ УДК
    45.53621.31-181.4

    Рубрики:
    Микроэлектромеханические системы

    Доп. точки доступа:
    Шалимов, А.С.
    Кочурина, Е.С.
    Калугин, В.В.
    Тимошенков, С.П.
    "МИЭТ", национальный исследовательский университет (Москва)

    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д10-19/75934)

    Шифр в сводном ЭК: 2ef22ba6ba7c3490e80a888f789b506b



    Заказ фрагмента документа ₽