Полное описание

Конаков, С. А. Проектирование и расчет химических микрореакторов для использования в технологии устройств микросистемной техники : автореф. дис. ... канд. техн. наук: 05.27.06 / С. А. Конаков. - 2018. - 20 с. : ил. - Библиогр.: с. 19-20. - 100 экз. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
47.13	621-181.4-047.84(043)

Кл.слова (ненормированные): МИКРОСИСТЕМОТЕХНИКА -- ПРОИЗВОДСТВО
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар18-5669)

Шифр в сводном ЭК: 2ee9aa17bbb9d000d98148d83391216b

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽