Полное описание

Dziuban, J. A. Technologia i zastosowanie mikromechanicznych struktur krzemowych i krzemowo-szklanych w technice mikrosystemow / J.A.Dziuban. - Wroclaw : Oficyna wydaw. politech. wroclawskiej, 2002. - 345 s. : il. - ISBN 83-7085-634-9. - Текст : непосредственный.
Библиогр.в конце глав.

ГРНТИ	УДК
47.13.11	621-181.4

Рубрики:
Миниатюрные изделия

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): J2/27107)

Шифр в сводном ЭК: 2aea5e7edda4d286b8c540669289ab09

Заказать издание
Заказ фрагмента документа