Полное описание

Дюваль, П. Высоковакуумное производство в микроэлектронной промышленности / П.Дюваль;Пер.с англ.Н.В.Васильченко и др.;Под ред.С.А.Неустроева. - М. : Мир, 1992. - 263 с. : ил. - Пер. изд. : High vacuum production in the microelectronics industry / P. Duval. - Amsterdam, 1988. - 800 экз. - ISBN 5-03-002002-0. - Текст : непосредственный.
Библиогр.: с. 203-208 (125 назв.)

ГРНТИ	УДК
47.13.11	621.3.049.76.002

Рубрики:
Микроэлектронные приборы -- Производство

Доп. точки доступа:
Duval, P.

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д8-92/2674)

Шифр в сводном ЭК: 29fdf1f7117aa378e2675de0422ab50b

Заказать издание
Заказ фрагмента документа