Полное описание

Коваль, Ю. И. Исследование особенностей воздействия ионного облучения на свойства полимерных масок в процессах микроструктурирования : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук:05.27.01 / Ю. И. Коваль. - Черноголовка, 1993. - 19 с. : ил. - Текст : непосредственный.
В надзаг.: Рос.АН,Ин-т проблем технологии микроэлектроники и особо чистых материалов. Библиогр.: с.18-20 (12 назв.)

ГРНТИ	УДК
47.13.11	621.3.049.76.002:621.794(043)

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): АР94-2251)

Шифр в сводном ЭК: 2335d428b5fa3205b5b919937fdb9256

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽