Полное описание

Калинина, И. С. Вопросы прецизионных тепловых процессов в ЧПП : материалы к 3-ей науч.-техн.конф."Экология микроэлектроники-90" / И. С. Калинина, В. И. Каракеян, Н. Ф. Личу. - М. : [б. и.], 1990. - 96 с. : ил. - Текст : непосредственный.
Библиогр.:с.96(11 назв.)

ГРНТИ	УДК
75.31.25	697.97

Рубрики:
Стерильные помещения -- Кондиционирование воздуха

Доп. точки доступа:
Каракеян, В.И.
Личу, Н.Ф.

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д8-90/5669)

Шифр в сводном ЭК: 21455d1ed36a2e2ddcd9225cf454130f

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽