Полное описание

Стемпицкий, В. Р. Статистический анализ и оптимизация технологии изготовления интегральных микросхем методом поверхности откликов : автореф. дис. ... канд. техн. наук: 05.27.01 / В.Р. Стемпицкий. - 2004. - 21 с : ил. - Библиогр.: с. 16-18(27 назв.). - Текст : непосредственный.
В надзаг.: Белорус. гос. ун-т информатики и радиоэлектроники

ГРНТИ	УДК
47.33.31	621.3.049.77-047.84(043)

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар06-80)

Шифр в сводном ЭК: 212ae319cbadc1850d7a7158441a2fff

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽