Полное описание
> Технология материалов микроэлектроники : учебное пособие / Л. В. Кожитов [и др.] ; Министерство науки и высшего образования РФ, Северо-Осетинский государственный университет им. К. Л. Хетагурова, Национальный исследовательский технологический университет "МИСиС". - Владикавказ : Изд.-полигр. центр Сев.-Осет. гос. ун-та им. К. Л. Хетагурова, 2018. - 215 с. : ил. - Библиогр.: с. 214-215 (17 назв.). - 100 экз. - ISBN 978-5-8336-0980-4. - Текст : непосредственный.
ГРНТИ | УДК | |
47.09 | 621.3.049.76-03 |
Рубрики:
Микроэлектронные приборы -- Материалы
Доп. точки доступа:
Кожитов, Л.В.
Косушкин, В.Г.
Магкоев, Т.Т.
Силаев, И.В.
Радченко, Т.И.
Северо-Осетинский государственный университет им. К. Л. Хетагурова (Владикавказ)
Национальный исследовательский технологический университет "МИСиС" (Москва)
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д10-18/61595)>
Шифр в сводном ЭК: 211144638eebaaaeedf6774aaaa7a0f5
Заказ фрагмента документа ₽