Полное описание

Манкелевич, Ю. А. Плазменно и термически стимулированное осаждение алмазных пленок: многомерные модели химических реакторов : автореф. дис. ... д-ра физ.-мат. наук: 01.04.08 / Ю. А. Манкелевич. - М., 2013. - 31 с. : ил. - Библиогр.: с. 27-31 . - 100 экз. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
61.31.51	661.666-416-047.58(043)

Кл.слова (ненормированные): АЛМАЗНЫЕ ПЛЕНКИ -- ГАЗОФАЗНОЕ ХИМИЧЕСКОЕ ОСАЖДЕНИЕ -- МОДЕЛИРОВАНИЕ -- СИНТЕЗ
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар14-2188)

Шифр в сводном ЭК: 200757100dc854a5aedf362b5e6ec5ea

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽