Полное описание

Щапова, И. А. Эллипсометрический метод контроля параметров сложных диэлектрических структур : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.27.01 / И. А. Щапова. - М., 1991. - 15 с. - Текст : непосредственный.
В надзаг.: Моск.ин-т радиотехники,электроники и автоматики. Библиогр.: с. 14-15(9 назв.).

ГРНТИ	УДК
47.33.37	621.3.049.76.001.4(043)

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): АР91-14677)

Шифр в сводном ЭК: 1ba035b79d0ef6face59d2f423fe8848

Заказать издание
Заказ фрагмента документа