Полное описание

Fruhauf, J. Shape and functional elements of the bulk silicon microtechnique : a manual of wet-etched silicon structures / J. Fruhauf ; SpringerLink (Online service). - Berlin ; Heidelberg : Springer, 2005. - on-line. - URL: http://dx.doi.org/10.1007/b138230. - ISBN 978-3-540-26876-5. - Текст : электронный.

ГРНТИ	УДК
47.09.29	621.315.592.9

Кл.слова (ненормированные): КРЕМНИЕВЫЕ СТРУКТУРЫ
Доп. точки доступа:
SpringerLink (Online service)

http://dx.doi.org/10.1007/b138230

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): 621.315.592.9/F95-828141)

Шифр в сводном ЭК: 1854176c6cce15773535fb5e2448a3ed

Просмотр издания