Полное описание

Electroceramic-based MEMS : fabrication-technology and applications / ed. N. Setter. - New-York (NY) : [s. n.], 2005. - XII, 414 p. : ill. - (Electronic materials: science and technology / Ser. ed.: H. L. Tuller). - Библиогр. в конце глав. Указ.: с. 411-414. - ISBN 0-387-23310-5. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
45.53	621.31-181.4

Рубрики:
Микроэлектромеханические системы

Доп. точки доступа:
Setter, N.\ed.\

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): J2/27391)

Шифр в сводном ЭК: 16f58ea3a9429cf632abf388cee14b99

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽