Полное описание

Новиков, Ю. А. Physical principles of the linewidth measurement of submicron relief structures / Ю.А.Новиков,А.В.Раков. - Moscow : [s. n.], 1995. - 16 p. : il. - (Препринт / Институт общей физики (Москва) ; 17(1995)). - 100 экз. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
29.35.43	621.385.833.2(04)

Рубрики:
Микроскопы электронные

Доп. точки доступа:
Раков, А.В.
Rakov A.V.
Novikov Yu.A.

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): М/42285/17(1995))

Шифр в сводном ЭК: 16ac6218655f008184b42d0cf0902ef2

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽