• ВХОД

    •  

    Полное описание

    Karthaus, J. Galvanische Abscheidung von Metallen aus nichtwassrigen Elektrolyten fur die Mikrosystemtechnik : Diss. / J.Karthaus,K.Bade,W.Bacher. - Karlsruhe : [s. n.], 2000. - VIII,121 S. S. : Ill. - (Wissenschaftliche Berichte / FZKA ; 6455). - Текст : непосредственный.
    Рез.англ.Библиогр.:с.116-121

    ГРНТИ УДК
    55.22.19621.357.7(043)
    47.13.11621.3.049.76-047.84:621.793(043)

    Рубрики:
    Гальваностегия
    Микроэлектронные приборы -- Металлизация

    Кл.слова (ненормированные): ГАЛЬВАНОСТЕГИЯ -- МИКРОЭЛЕКТРОННЫЙ ПРИБОР
    Доп. точки доступа:
    Bade, K.
    Bacher, W.

    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): R/17669/6455)

    Шифр в сводном ЭК: 1602e8c3c9718556fafb50ce441aac67



    Заказ фрагмента документа ₽