Полное описание

Бородин, С. А. Устройство для анализа наношероховатостей и загрязнений подложки по динамическому состоянию капли жидкости, наносимой на ее поверхность / С. А. Бородин, А. В. Волков, Н. Л. Казанский. - Текст : непосредственный // Оптический журнал = Journal of Optical Technology = 0030-4042. - 2009. - Т. 76, № 7. - С. 42-47. - Библиогр.: 16 назв.
ГРНТИ 29.31.21 + 47.09.31

Кл.слова (ненормированные): диэлектрики
Аннотация: Метод экспресс-контроля степени чистоты поверхности подложек, предназначенных для формирования микрорельефа дифракционных оптических элементов. Метод применяется для оперативной коррекции технологического процесса финишной очистки диэлектрических подложек.
Доп. точки доступа:
Волков, А.В.
Казанский, Н.Л.


Имеются экземпляры в отделах: всего 2 : ПНТ (1), ХРЦ (1)
Свободны: ПНТ (1), ХРЦ (1)
Заказаны экз-ры для отделов: ХРЦ

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): -611781-719762)

Шифр в сводном ЭК: 1414c7208c2ca80d7dbefdb716fde99b

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽