Полное описание

13950
Данилина, Т. И. Оборудование для создания и исследования свойств объектов наноэлектроники : учебное пособие / Данилина Т. И. - Томск : Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники, Эль Контент, 2011. - 96 с. - URL: https://www.iprbookshop.ru/13950.html (дата обращения: 11.04.2023) . - Режим доступа: ЭБС IPR SMART. - ISBN 978-5-91191-202-3 : Б. ц.

Книга находится в Премиум-версии IPR SMART.

	УДК
	621.382

	ББК
	32.852

Кл.слова (ненормированные): куф-диапазон -- нанолитография -- наноэлектроника -- оптическая литография -- уф-диапазон -- эуф-диапазон
Аннотация: Освещаются следующие разделы в области создания и исследования объектов наноэлектроники: нанолитография, оптическая литография, УФ-, КУФ-, ЭУФ- диапазоны, литография сканирующими электронными и ионными пучками, оборудование для получения остросфокусированных пучков электронов и ионов, наноимпринтинговая литография, технология наноразмерных структур и методы исследования с помощью сканирующей зондовой микроскопии (СЗМ), оборудование и методики применения СЗМ для технологических целей, технологии изготовления наноструктур с помощью сфокусированного ионного пучка (FIB-технология), технология наноструктурирования, самоформирующиеся 3D-наноструктуры для приборов наноэлектроники и наномеханики. Для слушателей программы переподготовки в области промышленного производства наногетероструктурных монолитных интегральных схем СВЧ- диапазона и дискретных полупроводниковых приборов
Доп. точки доступа:
Чистоедова, И. А.

Перейти к просмотру издания
Обложка книги

Просмотр издания ЭБС IPR SMART